FMA-LP2603A-I_FMA-LP2616A-I_FMA-LP2604A-I_FMA-LP2617A-I質(zhì)量流量控制器OMEGA

130+氣體校準(zhǔn)，包括純氣體和混合氣體

同時(shí)顯示壓力、溫度和質(zhì)量流量

按鍵界面操作簡單

NIST可追溯性標(biāo)準(zhǔn)

0.5 SCCM~500 SLM滿量程范圍

典型響應(yīng)時(shí)間為50~100 ms

調(diào)節(jié)比為200：1

位置不敏感

±0.8%讀數(shù)精度

RS232標(biāo)準(zhǔn)

自定義實(shí)時(shí)氣體混合編程

***多可存儲20種用戶定義的氣體混合物

FMA-LP2603A-I_FMA-LP2616A-I_FMA-LP2604A-I_FMA-LP2617A-I質(zhì)量流量控制器OMEGA

產(chǎn)品規(guī)格
精度：±(0.8%讀數(shù) + 0.2% FS)
重復(fù)性：±0.2% FS
調(diào)節(jié)比：200:1
控制響應(yīng)時(shí)間：100 ms
輸入控制信號：0~5 Vdc, RS232
輸出信號：0~5 Vdc, RS232
可選輸入/輸出：4~20 mA, 0~10 Vdc
工作溫度：-10~50°C（14~122°F）
零點(diǎn)漂移：0.02%/ATM FS/°C
量程漂移：0.02%/ATM FS/°C
濕度范圍：0~100% RH, 無冷凝
附加流速：2.4% FS
接濕材料：標(biāo)配：303和302 SS，F(xiàn)KM，硅樹脂TRV（橡膠），玻璃增強(qiáng)尼龍，鋁，黃銅，410 SS，硅樹脂，玻璃；>250 SLM：416 SS和鎳替代黃銅
-LSS（選項(xiàng)）：316LSS，303SS，430FRSS，全氟彈性體標(biāo)準(zhǔn)，F(xiàn)KM，EPDM，丁納橡膠，氯丁橡膠 最大壓力：50 psig
在體積模式下使用：近大氣壓，建議最大值為15 psig。體積流量計(jì)和控制器未針對質(zhì)量流速高于流量計(jì)額定流量范圍的情況進(jìn)行精度認(rèn)證。它們僅適用于接近大氣壓的條件。 最大工作壓力建議為15 psig
電源電流：20 SLM及以下為0.250 A；50 SLM及以上（典型值）為0.75 A
電源電壓：2 SLM及以下設(shè)備為15-30 Vdc；5 SLM及以上設(shè)備為24-30 Vdc
電氣連接：8針圓形Mini-DIN"

FMA-LP2603A-I_FMA-LP2616A-I_FMA-LP2604A-I_FMA-LP2617A-I質(zhì)量流量控制器OMEGA

"FMA-LP2600A系列質(zhì)量流量控制器 在層流場中使用 差壓原理來檢測并控制質(zhì)量流量。 流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使 氣體進(jìn)入層流狀態(tài)（經(jīng)過整流處理）。按照泊肅葉方程， 在這***區(qū)域體積流量 與壓降呈線性 關(guān)系。使用差壓傳感器 測量LFE固定距離的 壓降情況。同時(shí)結(jié)合氣體的粘度 準(zhǔn)確判定體積流量。 引入單獨(dú)的絕對溫度和壓力傳感器， 并根據(jù)***系列標(biāo)準(zhǔn)條件 修正氣體流量。這種標(biāo)準(zhǔn)化 流量通常稱為質(zhì)量流量， 使用標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘(SCCM) 或標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘(SLM)等 單位表示。

控制器使用真正的比例閥聯(lián)接到 流體，以便使用積分式 PID回路控制器來控制流量。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括 0 ~ 5V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232 通信?？蓮那岸随I盤或 通過RS232通信調(diào)整氣體 選擇功能和設(shè)定值。體積流量、質(zhì)量 流量、絕對壓力以及溫度均可 通過RS232連接查看或記錄。 在距離為46m（150’）的同***串口連接上，同時(shí)***多可與26臺設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通信