FMA6510ST_FMA6518ST_FMA6520ST_FMA6523ST_FMA6524ST質(zhì)量流量控制器OMEGA
流量警報
高、低氣體流量報警限值使用數(shù)字接口編程。報警狀態(tài)通過數(shù)字接口報告,或者可以激活觸點閉合輸出。
可編程流程
Omega軟件支持可編程流模式,允許執(zhí)行最多10個步驟的自定義編程。各種流量配置包括斜坡、線性化增加和減少模式。
自動調(diào)諧
自動調(diào)諧功能允許FMA6500在實際工藝條件下自動優(yōu)化氣體的控制響應。在自動調(diào)整過程中,儀器調(diào)整PID增益以獲得最佳階躍響應,并確定關鍵控制閥特性(僅適用于最大流量小于80 l/min的裝置)。
觸點閉合
提供兩組干觸點繼電器輸出,以啟動用戶提供的設備。這些可通過數(shù)字接口進行編程,以便在發(fā)生指定事件時(例如,當超過低或高流量報警限值或當累加器達到指定值時),繼電器可以進行切換。
閥超控
通過模擬或數(shù)字接口強制控制閥完全打開(凈化)或完全關閉。
自我診斷
每當首次通電時,F(xiàn)MA6500都會進行一系列自診斷測試,以確保其處于最佳工作狀態(tài)。
工程單位
流量設定值、測量的氣體流量和相關的累加器數(shù)據(jù)