概述：

現(xiàn)今的高性能電子束儀器對(duì)變化的環(huán)境磁場(chǎng)非常敏感。當(dāng)周遭的磁場(chǎng)改變時(shí)會(huì)使電子顯微鏡的電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度或測(cè)量精度下降。SC22系統(tǒng)可降低環(huán)境交流磁場(chǎng)并恢復(fù)分辨率和精度。

SC22主動(dòng)式消磁系統(tǒng)主要是由磁場(chǎng)控制器、***或兩個(gè)感測(cè)探頭及三軸向多芯的線圈組成，并安裝在電鏡房間內(nèi)以產(chǎn)生反向磁場(chǎng)并改善外部磁場(chǎng)問題。

系統(tǒng)針對(duì)外部磁場(chǎng)變化為自動(dòng)響應(yīng)，響應(yīng)時(shí)間小于100微秒。AC線路場(chǎng)（50/60 Hz）減 少50 x。

SC22無法消除電梯、火車和交通等直流電場(chǎng) 變化干擾源。若需要同時(shí)消除交流磁場(chǎng)與直 流磁場(chǎng)的話可以參考另***款SC24主動(dòng)式消磁器。                                        

? 提供穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境，保護(hù)電子束技術(shù)方面的 機(jī)臺(tái)不受影響

? 針對(duì)環(huán)境全時(shí)段監(jiān)控及主動(dòng)消除交流電磁場(chǎng)

? 低消耗高性能系統(tǒng)

? 智能用戶界面自動(dòng)設(shè)定系統(tǒng)

? 在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz交流電場(chǎng)干擾

? 包含全3軸（X，Y，Z）系統(tǒng)

? 能消除高達(dá)60 mG（6.0μT）的pk-pk 范圍

? 針對(duì)外部磁場(chǎng)改變的瞬間反應(yīng)時(shí)間為100微秒 以內(nèi)

? 具備USB連接埠選項(xiàng)提供監(jiān)控

產(chǎn)品安裝：

SC22主動(dòng)式消磁系統(tǒng)的線圈由***個(gè)完整回路和***段連接控制器的線路組成。完整回路創(chuàng)建***個(gè)區(qū)域的消除磁場(chǎng)，而另***段連接控制器的線路(此段沒有消除磁場(chǎng)的功能)則連接到磁場(chǎng)控制器。完整回路如上頁圖1所示，以1個(gè)紅色，綠色和藍(lán)色代表X、Y、Z軸。SC22線圈的X軸和Y軸完整回路長16米，Z軸回路則為20米長。若客戶端有個(gè)別需求，可以定制更長的線圈來解決。

上頁圖1的安裝適用于大多數(shù)SEM機(jī)臺(tái)，電子束柱通常距離房間墻壁1.5米?？梢韵膱?chǎng)域（動(dòng)態(tài)范圍）取決于完整回路線圈的尺寸和相對(duì)于電子束柱的位置。使用5米的X軸和3米的Y軸完整回路以及距離壁1.5米的墻壁，動(dòng)態(tài)范圍約為25 mG（2.5μT）pk-pk。

為了嚴(yán)謹(jǐn)?shù)刂赋鯯C22主動(dòng)式消磁器的表現(xiàn)，我們使用***個(gè)虛擬房間來顯現(xiàn)SC22安裝細(xì)節(jié)作為參考，如圖2中所示。電子束柱在3米×5米 X和Y軸完整回路（在電子束柱的上方和下方交叉）和5米×5米 Z軸完整回路的中心。第6頁的SC22規(guī)格適用于圖2的安裝方式。

這些被推薦使于配有Gatan成像濾光片（GIF）的TEM也可搭配雙回路尺寸的亥姆霍茲線圈。

當(dāng)房間過大或沒有局部墻壁在附件時(shí)，定制的框架可用于安裝亥姆霍茲線圈，如下頁圖3所示。但框架限制了機(jī)臺(tái)操作空間，因此只針對(duì)無法安裝線圈在房間的地方使用。安裝在框架的線圈消磁效能可能不如整間房間安裝線圈的設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品規(guī)格

單位                              Gauss, Tesla, (switchable)

FIELD CANCELLING

Components cancelled                      X, Y, Z fields

外部動(dòng)態(tài)消磁能力 (X & Y)NOTE 1                 60mG (6μ T) 峰峰值 (installation Fig. 2)

外部動(dòng)態(tài)消磁能力 (Z)NOTE 1                      45mG (4.5μ T) 峰峰值 (installation Fig.

消磁因子                                50 X at 50/60 Hz

帶寬                                   2.5 Hz - 5000Hz

系統(tǒng)1/f噪聲限制低于0.1Hz                   < 100 μG (10 nT) 峰峰值

系統(tǒng)寬帶噪聲限制                         1μG (100pT) RMS 5 Hz -20 kHz

磁場(chǎng)測(cè)量和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

種類顯示屏幕                             3.5英寸LCD TFT彩色面板

顯示測(cè)量值                               X軸感測(cè)探頭

(每0.4秒更新***次) Y軸感測(cè)探頭               Z軸感測(cè)探頭

總向量磁場(chǎng)與感測(cè)探頭有關(guān)

測(cè)量帶寬                                5 Hz -20 kHz

可選讀數(shù)單位                              mG RMS

                                        mG pk-pk

                                        μT RMS

                                        μT pk-pk

nT RMS

 nT pk-pk

顯示范圍（讀數(shù)）                 X, Y, Z pk-pk 0 - 40.000 mG (0 - 4.0000 μT) (0 -4000.0nT)

      X, Y, Z RMS 0 - 20.000 mG (0 - 2.0000 μT) (0 - 2000.0 nT)

      TOTAL pk-pk 0 - 69.282 mG (0 - 6.9282 μT) ( 0 - 6928.2 nT)

      TOTAL RMS 0 - 34.641 mG (0 - 3.4641 μT) ( 0 - 3464.1 nT)

精確度                         ± 1.0 % of reading ± 1μG (100 pT)

感測(cè)探頭寬帶噪聲限制             1μG (100pT) RMS

磁場(chǎng)穩(wěn)定指示燈                  當(dāng) X & Y & Z軸磁場(chǎng)皆< 250 μG RMS，會(huì)顯示綠色OK指示燈

跳閘指示燈                     如果X、Y、Z軸任***軸上的磁場(chǎng)>250μGRMS，跳閘指示燈會(huì)亮起，

      如果磁場(chǎng)<250μGRMS，在60秒后跳閘指示燈會(huì)消失。

X，Y，Z軸即時(shí)磁場(chǎng)輸出

刻度                                     1.0 V/mG (10V/μT)

范圍                                     ± 12 Volts

來源阻抗值                                10 k

連接頭                                   3 x BNC

帶寬                                     5 Hz -20 kHz

電源                               120/240V (+10% -20%) 50/60Hz