美國(guó) Cascade M150探針臺(tái)
價(jià) 格:詢價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-05-10 13:53
品 牌:其他型 號(hào):
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2996
400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司
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上海自提或三方快遞
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主要特點(diǎn)
1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、多功能;
2. 平臺(tái)配置可滿足DC、RF和亞微米測(cè)量;
3. 獨(dú)特的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升***;
4. 量程大、可配探針配件;
應(yīng)用
優(yōu)越的應(yīng)用靈活性使得M150能滿足DC和RF測(cè)量、器件和晶圓表征測(cè)試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測(cè)、MEMS和光學(xué)工程測(cè)量;M150也能用作***個(gè)靈活的探頭卡,實(shí)現(xiàn)wafer***的可靠性應(yīng)用(WLR),能同時(shí)配備多達(dá)20個(gè)探針座。
產(chǎn)品參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)規(guī)格參數(shù):
基座 | 基本尺寸 | 含升高板的尺寸 | 面積 | Z軸可移動(dòng)范圍 |
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) | 675mm x675mm | 825mm x675mm | 1960cm2 | 5.5mm |
多功能平臺(tái) | 825mm x675mm | 847mm x758mm | 2700cm2 |
|
X-Y-θ平臺(tái) | XY范圍 | *小步長(zhǎng) | θ范圍 | 晶圓范圍 |
真空運(yùn)行平臺(tái) | 155mm x155mm | 3μm | +/- 60° | 70mm |
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) | 155mm x155mm | 2μm | +45°(CCW) , - 90°(CW) | 250mm |
快速運(yùn)行平臺(tái) | 155mm x155mm | 1μm | +45°(CCW) , - 90°(CW) | 275mm |
DUT支架 | 卡盤 | 基底 | 平整度 | 三軸接頭 | 絕緣層 | 附加卡盤 |
150mm卡盤 | 150mm真空卡盤 | 晶圓,陶瓷 | <10μm | Yes | >100GΩ | 2個(gè)獨(dú)立的卡盤,且還有一個(gè)附加卡盤 |
PCB | 150mm寬支架 | PCB,移動(dòng)裝置 | NA | NA | NA | NA |
顯微鏡支架 | 移動(dòng)范圍(XY) | Z方向 | *小步長(zhǎng) |
臂式支架 | >150mm x 150mm | NA | NA |
LAHS顯微鏡支架 | 150mm x 150mm | 可選,為100mm | 2μm |
產(chǎn)品介紹
Cascade M150探針臺(tái)
用于實(shí)現(xiàn)靈活性和不打任何折扣之精度的新標(biāo)準(zhǔn)
Cascade Microtech 的 M150測(cè)量平臺(tái)是***款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái),解決了***系列的測(cè)量難題。該探針臺(tái)采用了***種模塊化設(shè)計(jì),提供了眾多的配置可能性,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測(cè)量的需要。M150 可提供三種預(yù)配置的探針臺(tái),均針對(duì)您的應(yīng)用及預(yù)算而優(yōu)化。您可以通過確定*適合自己當(dāng)前需要的 M150 模塊來(lái)設(shè)計(jì)特有的探針臺(tái),或?qū)ψ约含F(xiàn)用的 M150 進(jìn)行升***以滿足未來(lái)的測(cè)量需求。