特點(diǎn)

類型

規(guī)格

*緊湊的結(jié)構(gòu)，輕巧的重量；

*結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，經(jīng)濟(jì)實(shí)用；

*探針操作靈敏，直線度高；

*便于維護(hù)；

Chuck（卡盤）

尺寸：6英寸，圓形

材質(zhì)：不繡鋼（可升級(jí)鍍金）

旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動(dòng)行程：4" x4"，移動(dòng)精度：10um（可升級(jí)為1um精度）

吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4"

整體規(guī)格

U型設(shè)計(jì)，可放置4個(gè)高端探針座，中端*多8個(gè)探針座

平整度：5um，平臺(tái)特殊處理，使得探針座吸附更牢固

尺寸：400mm長(zhǎng)×380mm寬×480mm高(帶顯微鏡)

重量：30KG（帶顯微鏡）
           

選配：

 *  Z軸升降行程：5mm，卡盤快速升降，方便更換樣品，不會(huì)碰觸到其他已調(diào)試好器件；

 *    卡盤鍍金；

 *  搭配射頻探針；
           

 *  視頻CCD系統(tǒng)；

 *  防震桌；

 *  屏蔽箱；

 *  加熱系統(tǒng)；