臺

體

尺寸

8英寸

12英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

8英寸*8英寸

12英寸*12英寸

X-Y移動精度

10微米/I微米

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺

*多可放置8個探針座

*多可放置10個探針座

平臺升降

可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm

背電極測試

樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm插孔可接背電極

顯微鏡

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針座

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

移動精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探針夾具

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

針尖直徑

0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材質(zhì)

鴇鋼/皺銅

外形

840mm 長 *600mm 寬 *700mm 高

950mm 長 *700mm 寬 *700mm 高

重量

約100千克

約150千克

可選附件

加熱臺

屏蔽箱

高壓測試配件

顯微鏡快速傾仰裝置

顯小器

光學(xué)平臺

激光系統(tǒng)

探針卡夾具

轉(zhuǎn)接頭

鍍金卡盤

射頻測試配件

光電測試配件

根據(jù)客戶要求定制

真空吸附型Chuck

8" 不銹鋼

Chuck X-Y軸行程

8" x8"

Chuck 旋轉(zhuǎn)角度

0~360 度

針座平臺上下粗調(diào)行程

6mm   通過升降桿調(diào)整

針座平臺上下細粗行程

25 mm 通過旋轉(zhuǎn)手輪

針座平臺

可以放置8個針座

顯微鏡X-Y軸行程

2" x2"

需求

電力

220 VAC, 60Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

840mm長 x 660mm寬 x 700mm高(帶顯微鏡)

重 180 Kg(帶顯微鏡)

可選附件

Chuck快速拉出裝置

顯微鏡傾仰裝置

激光修復(fù)

探針卡夾具

加熱臺

高低溫樣品臺(-80-200℃)

防震桌

顯微鏡暗場 / Normarski 檢測

帶真空底座的活動Chuck

光強/波長測試接口部件

射頻測試探頭和線纜

有源探頭

 低電流/電容測試

高壓測試/大電流測試

CCD視頻系統(tǒng)

封裝器件夾具

PCB板夾具

液晶熱點偵測套裝

屏蔽箱

鍍金Chuck