1、探針臺臺體

           CL-6

?  6" 卡盤，采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣品，分別由3個開關(guān)獨立控制

?  卡盤X-Y的移動范圍 6＇＇X6＇＇，移動精度：10微米 

?  卡盤可以 360 度旋轉(zhuǎn)，細(xì)調(diào)精度不大于 0.1 度，帶有鎖定旋鈕

?  Chuck 漏電低于 100fA ， 平坦度誤差小于 5um 。

?  Chuck 鍍金，用于做背電極,可以進(jìn)行雙面測試

?  卡盤臺可以上下快速升降4mm，便于樣品快速分離探針

?  顯微鏡環(huán)繞立柱旋轉(zhuǎn)式設(shè)計，便于快速移動顯微鏡， 顯微鏡移動范圍覆蓋樣品臺 

?  可調(diào)節(jié)顯微鏡在 X-Y 平面4" x 4" 范圍內(nèi)移動,精度1微米（此項行程升***為4寸，系統(tǒng)不包含顯微鏡） 

 2、體視顯微鏡  CB-M

?  變焦： 0.8 倍 ~5 倍 ， 總放大倍率： 16 倍 ~200 倍

?  雙目觀察傾斜 45 度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍 52-75mm

?  顯微鏡在 X ， Y ， Z 軸方向的調(diào)節(jié)范圍： > 50.8mm ，調(diào)節(jié)精度小于 10 微米

?  工作距離:115mm 變倍比：1:6.7

?  帶 CCD 接口和 0.4X C-mount

?  *小分辨率2um

3、高壓大電流探針座

GVDI-40

?  磁力開關(guān)底座

?  線性，無后座力移動

?  探頭接口和線纜45度連接，無需L型轉(zhuǎn)接頭

?  X-Y-Z 方向的移動行程分別為 13mm

?  精度2微米

?  調(diào)節(jié)架可進(jìn)行30度以內(nèi)的角度調(diào)節(jié)

?  高壓大電流測試適用

4、SHV高壓夾具

?  漏電精度低于1pA

?  大電流10A,高壓2kv（不能同時達(dá)到）

?  2.1m線纜（銅管TubulerType）接頭和客戶設(shè)備配

?  50Ω阻抗，測試頻率直流-100Mhz

  （與浙江五強晶體管特性圖示儀配套使用）

5、SHV高壓大電流探針

?  電流范圍0-10A

?  電壓范圍0-2kV

?  2kV時，電流需控制在10mA以內(nèi)

?  電流10A時，電壓不能超過5v

?  漏電精度100fA

6、真空泵

VP0125

?  可24小時連續(xù)工作

?  靜音無油真空泵 7 升/分鐘 

?  體積小巧 

（可選項）

7、屏蔽箱

?  有效屏蔽信號干擾和漏電，提升測試精度

?  防止意外觸電

8、固定支座

?  880*580*700mm，阻尼抗震

?  承重 300kg左右

9、面包板

?  1200*600*50mm

?  蜂窩型板

?  孔距25mm，孔徑M6

?  表面粗糙度:<2um