型號(hào):CM-4
CM-4簡(jiǎn)易探針臺(tái) Mini Probe Station |
類型 | 規(guī)格 |
Chuck(卡盤) | 尺寸:4英寸,圓形 |
材質(zhì):不繡鋼(可升***鍍金) |
旋轉(zhuǎn)角度:0-360°可帶角度鎖定,精度0.1° |
X-Y移動(dòng)行程:2" x3",移動(dòng)精度:10um(可升***為1um精度) |
吸附孔:中心孔徑*小可做到250微米,*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為4"X4" |
整體規(guī)格 | T型平臺(tái),輕巧方便。 |
平整度:5um,平臺(tái)特殊處理,使得探針座吸附更牢固 |
外尺寸:400mm長×380mm寬×450mm高(帶顯微鏡) |
重量:20KG(帶顯微鏡) |
規(guī)格:
1、固定樣品方式:真空吸附
2、chuck尺寸:4英寸,圓形(方形可選)
3、chuck材質(zhì):不銹鋼(可升***鍍金)
4、chuck旋轉(zhuǎn):0-360°可帶角度鎖定,精度0.1°
5、chuck在X-Y軸上的移動(dòng)行程:4" x4",移動(dòng)精度:10um(可升***為1um精度)
6、針座平臺(tái):U型平臺(tái),可放置6-8個(gè)針座
7、平臺(tái)升降:可快速升降5mm
顯微鏡:體式三目顯微鏡,含CCD接口
顯微鏡放大倍率:16倍~100倍,可加2X輔助物鏡物鏡到200倍
顯微鏡在Z軸方向的調(diào)節(jié)范圍:50.8mm
機(jī)臺(tái)尺寸:400mm長 x 400mm寬 x 500mm高(帶顯微鏡)
整機(jī)重 量:30 Kg (帶顯微鏡)
特點(diǎn):
1、4 inch樣品臺(tái)
2、緊湊的結(jié)構(gòu)
3、輕巧的重量
4、實(shí)惠的價(jià)格
5、可以做光電方面測(cè)試
6、LED/LD/PD的光強(qiáng)/波長測(cè)試
7、可以進(jìn)行射頻測(cè)試
8、加裝東/西方向針座
9、適合大學(xué)實(shí)驗(yàn)室通用
10、適合4“以下晶圓測(cè)試
11、無后座力移動(dòng)