hot chuck 樣品加熱臺 |
特點 | 類型 | 規(guī)格 |
*低噪聲,直流電驅動 *隔離套裝實現PA***電信測試精度 *隔絕水循環(huán)保護chuck底座 *可以在絕大多數探針臺上加裝 *易于裝卸 | chuck(卡盤) | 尺寸:4, 6, 8,英寸直徑,1英寸厚度 |
Chuck 平整度:+ -10 微米 |
材質:不銹鋼(可升***鍍金/鍍鎳) 真空吸附固定 |
溫度控制系統(tǒng) | 控溫范圍:常溫到300攝氏度 |
控溫精度:0.1℃ |
溫度穩(wěn)定度:+- 1% |
從25 ℃開始升溫時間/秒: 100 ℃/1:00 150 ℃/2:30 200 ℃/3:00 300 ℃/4:30 |
高溫配件,可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ |
低溫配件,可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃ |
控制器 | 尺寸:350mm長 x 300mm寬 x 150mm高 |
重量:20 Kg |
附件:用于其他品牌探針臺的安裝轉接口 更高溫度控制精度 更高溫度均勻性 水冷箱 更低電流測試用的屏蔽裝置 測試屏蔽腔體 |