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EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀

價  格：詢價

產(chǎn)  地：更新時間：2021-05-31 15:31

品  牌：其他型  號：EMS 550/EMS 500

狀  態(tài)：正常點擊量：1502

400-006-7520
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上海非利加實業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀

性能特征：

  • 旋轉(zhuǎn)且可傾斜樣品臺

  • 高質(zhì)量鍍層厚度（2nm 金膜）

  • 精確的可重復(fù)性能

  • 均勻沉積厚度

  • 復(fù)合樣本固定器

  • 全自動控制

  • 低耗冷卻系統(tǒng)，無需冷卻樣本及樣品臺

  • 低壓濺射

  • 20nm（或20埃）

  • 微電子控制

  • 聚碳酸酯安全殼體


產(chǎn)品參數(shù)

EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀

儀器參數(shù)：

 


儀器尺寸

450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）

工作腔室

硼硅酸鹽玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H）

安全罩

聚碳酸酯

重量

18Kg

靶材

60 mm 直徑 x 0.1mm 厚（金靶為標準靶材）

樣品臺

60mm（Dia.） ，靶面距在25mm－45mm之間可調(diào)

真空泵工作范圍

ATM-1x10-2 mbar

濺射電流

0-50mA

濺射鍍膜時間

0-4 minutes

沉積速率

0-25nm/分

電源配置

230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump）


 

產(chǎn)品信息：

 


貨號

產(chǎn)品名稱

規(guī)格

91000

EMS 550 Sputter Coater complete with Target

臺

91000-MA

EMS 500 Manual Sputter Coater

臺

91005

Rotary Vacuum Pump 
           Targets 60mm （Dia.） x 0.1mm （Thick） fitted inclusive as standard

個



產(chǎn)品介紹

  EMS 550本儀器為全自動操作，可控制獨立的真空泵。




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