美***: 那諾-馬斯特 Nano-master

ALD/PEALD原子層沉積機(jī)
           
           
           

Nano-master  NLD-4000 是***款獨(dú)立式計(jì)算機(jī)控制的ALD系統(tǒng)，全自動(dòng)工藝控制并包含完整的安全連鎖功能，能夠沉積半導(dǎo)體應(yīng)用中的氧化物和氮化物（比如AlN, GaN, TaN, TiN, Al2O3, ZrO2, LaO2, HfO2），支持太陽能和MEMS等眾多領(lǐng)域的應(yīng)用。
            
           系統(tǒng)包含***個(gè)13”的鋁質(zhì)反應(yīng)腔體，具有加熱腔壁和氣動(dòng)升降頂蓋，可***鍵式實(shí)現(xiàn)頂蓋的開啟/閉合，便于放取片。隨系統(tǒng)配套手套箱，可以支持*多七路加熱或冷卻的50cc容器用于前驅(qū)體或者反應(yīng)物，并集成了快速脈沖傳輸閥用于氣體脈沖輸出。沒有反應(yīng)掉的前驅(qū)體將被加熱過濾器所捕捉，該過濾器安裝在腔體排風(fēng)口。
            
           工藝程序、溫度設(shè)定值、氣體流量、抽真空卸真空工序，以及傳輸管路的吹掃均通過LabView軟件全自動(dòng)控制。
            
           選配項(xiàng)包含自動(dòng)上下片（系統(tǒng)占地面積不變）、遠(yuǎn)程平面ICP等離子源用于等離子增強(qiáng)ALD（平面ICP的構(gòu)造確保小的反應(yīng)腔體容積，這實(shí)現(xiàn)更快的循環(huán)時(shí)間），以及渦輪分子泵用于更低的極限真空。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
           

**低于1?的均勻度
           **  優(yōu)化的13”陽極氧化鋁腔體
           **  小反應(yīng)腔體容積確保快速的循環(huán)時(shí)間并提高產(chǎn)能
           **  可支持8”的基片
           **  400°C基片加熱器
           **  隨系統(tǒng)配套前驅(qū)體手套箱
           **  做多支持七路50cc前驅(qū)體容器
           **  300L/Sec抽速的磁懸浮分子泵組
           **  極限真空可達(dá)5x10-7Torr
           **  快速脈沖氣體傳輸閥
           **  大面積過濾器用于捕捉未反應(yīng)的前驅(qū)體
           **  高深寬比結(jié)構(gòu)的涂覆
           **  全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制，菜單驅(qū)動(dòng)
           **  LabVIEW友好用戶界面
           **  EMO和安全互鎖
           **  占地面積僅24”x44”帶封閉面板的柜體對超凈間很理想

           選配:

**  下游式平面ICP遠(yuǎn)程等離子源用于PE-ALD工藝
           **  RF離子源用于無需要求超高密度的PE-ALD工藝
           **  自動(dòng)上下片
           **  增加額外的前驅(qū)體

           產(chǎn)品應(yīng)用:  

**  高K介質(zhì)
           **  疏水性涂覆
           **  鈍化層
           **  高深寬比擴(kuò)散阻擋層的銅連接
           **  微流控應(yīng)用的保形性涂覆
           **  燃料電池中諸如催化層的單金屬涂覆