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美國OAI 458用于高強度步進式晶片曝光機的紫外線高強度和能量計

價  格:詢價

產(chǎn)  地:更新時間:2021-01-19 10:32

品  牌:型  號:OAI 458

狀  態(tài):正常點擊量:2548

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 美***OAI公司458型紫外光度計
用于高強度步進式晶片曝光機的紫外線高強度和能量計

基于微處理器的458型紫外線光強和能量系統(tǒng)準確地測量曝光能量(劑量),以評估步進器的性能。它設計用于ASML高強度、佳能、尼康和超技術高強度晶片步進器。讀取365、400、420和436 nm波長的強度、能量和時間(4000 mW/cm²、999.9 mJ/cm²)??蛇x的RS232電纜可與458軟件***起工作,將測量數(shù)據(jù)發(fā)送到計算機。

應用

458型非常適合各種需要精確測量紫外線能量的行業(yè),適用于任何需要重復、可靠的紫外線測量的應用。特別適合于芯片生產(chǎn)中的需要。

硬件特點:

平均至多9次曝光

數(shù)字顯示提供清晰、NIST可追蹤的測量結果

測量強度、時間和能量

記錄***系列曝光的偏差百分比

探針波長顯示有助于防止設置錯誤

簡單的按鈕操作提供可靠的結果

下載并記錄分析儀測量結果的RS 232輸出

可拆卸探針,以匹配許多光敏電阻的光譜響應。

顯示讀數(shù)可能凍結

前面板提醒提示用戶

堅固的鋁制外殼,手柄和探針袋方便攜帶

 

備注:365、400、420和436 nm傳感器根據(jù)自己的需要選擇***個要單獨購買;R-232線纜(只有購買線纜,才可進行數(shù)據(jù)下載)也要單獨購買。
     主機和探頭定期(1-2年)進行校準,目前只能返廠校準,有費用產(chǎn)生。

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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