美國OAI 458用于高強度步進式晶片曝光機的紫外線高強度和能量計
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-19 10:32
品 牌:型 號:OAI 458
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美***OAI公司458型紫外光度計
用于高強度步進式晶片曝光機的紫外線高強度和能量計基于微處理器的458型紫外線光強和能量系統(tǒng)準確地測量曝光能量(劑量),以評估步進器的性能。它設計用于ASML高強度、佳能、尼康和超技術高強度晶片步進器。讀取365、400、420和436 nm波長的強度、能量和時間(4000 mW/cm²、999.9 mJ/cm²)??蛇x的RS232電纜可與458軟件***起工作,將測量數(shù)據(jù)發(fā)送到計算機。
應用
458型非常適合各種需要精確測量紫外線能量的行業(yè),適用于任何需要重復、可靠的紫外線測量的應用。特別適合于芯片生產(chǎn)中的需要。
硬件特點:
平均至多9次曝光
數(shù)字顯示提供清晰、NIST可追蹤的測量結果
測量強度、時間和能量
記錄***系列曝光的偏差百分比
探針波長顯示有助于防止設置錯誤
簡單的按鈕操作提供可靠的結果
下載并記錄分析儀測量結果的RS 232輸出
可拆卸探針,以匹配許多光敏電阻的光譜響應。
顯示讀數(shù)可能凍結
前面板提醒提示用戶
堅固的鋁制外殼,手柄和探針袋方便攜帶
備注:365、400、420和436 nm傳感器根據(jù)自己的需要選擇***個要單獨購買;R-232線纜(只有購買線纜,才可進行數(shù)據(jù)下載)也要單獨購買。
主機和探頭定期(1-2年)進行校準,目前只能返廠校準,有費用產(chǎn)生。