納米***三維測(cè)量?jī)x(3D Nanofinger)俗稱(chēng)納米三坐標(biāo)，是***種實(shí)用的納米精度坐標(biāo)和形貌綜合測(cè)量設(shè)備。由臺(tái)架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成. 可測(cè)量樣品外形尺寸，表面輪廓、粗糙度等，并可與超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合，進(jìn)行在線檢測(cè)、質(zhì)量控制等。系統(tǒng)可以根據(jù)樣品設(shè)定測(cè)量路徑，測(cè)量范圍達(dá)到厘米***甚至更大。現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)械加工、MEMS器件、半導(dǎo)體微電子加工、光學(xué)、分子生物學(xué)和精密工程。

工作原理：

· Nanofinger傳感器是***個(gè)小的MEMS器件，用來(lái)監(jiān)測(cè)針尖和樣品之間的距離。這個(gè)距離小于10nm時(shí)，傳感器檢測(cè)到針尖和樣品之間的范德華力。此過(guò)程針尖跟樣品沒(méi)有接觸，即沒(méi)有任何損傷。

· Nanofinger的傳感器由***個(gè)特殊的，帶寬為幾kHz的高速電子控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)，閉環(huán)控制朝向樣品運(yùn)動(dòng)，增量為1nm直至達(dá)到理想的信號(hào)值（如，放大倍數(shù)為75%）。這時(shí)，位置信息以坐標(biāo)數(shù)據(jù)信息存儲(chǔ)下來(lái)。傳感器繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，到達(dá)下***位置，任何時(shí)候，都是1nm增量的閉環(huán)控制。同時(shí)，在X.Y和Z方向都可以實(shí)現(xiàn)厘米的運(yùn)動(dòng)行程。

· 所有運(yùn)動(dòng)方向都實(shí)現(xiàn)1nm運(yùn)動(dòng)分辨率。線掃描后非常容易地獲得三維圖像。

應(yīng)用靈活：

· 3D-Nanofinger可以作為***個(gè)模塊，應(yīng)用到其他系統(tǒng)中。

· 可以構(gòu)建成***個(gè)獨(dú)立的納米***三維測(cè)量?jī)x。

· 可以與Klocke公司的機(jī)械臂組合，安裝在SEM/FIB系統(tǒng)中，進(jìn)行三維測(cè)量。“實(shí)時(shí)的圖像位置”模塊引導(dǎo)Nanofinger輕松到達(dá)鼠標(biāo)點(diǎn)擊的SEM圖像位置。

設(shè)備主要參數(shù)： 

· 可選行程: 

X = 20 or 50 mm2 

Y = 20 or 50 mm2 

Z = 10 or 20 mm2 

采用花崗巖基底，XY方向行程擴(kuò)展為： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 

· 測(cè)量特性： 

運(yùn)動(dòng)分辨率： 1 nm

針尖分辨率： 0.5 nm

水平與豎直方向均配有操縱傳感器

線形輪廓測(cè)量

樣品內(nèi)部與外部輪廓測(cè)量

坐標(biāo)測(cè)量功能

· 測(cè)量用探針: 

針尖型金屬絲, 尖端半徑 < 100 nm

鉤型金屬絲, 尖端半徑< 100 nm

圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm

金剛石針尖, 如用于表面壓痕

· 軟件: 

針尖自動(dòng)校準(zhǔn)與逼近

2D 和 3D 圖形功能

工序設(shè)置，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜動(dòng)作自動(dòng)控制（選項(xiàng)）

應(yīng)用圖例：

· 輪廓測(cè)量 

二維和三維輪廓和表面精糙度參數(shù)

TFT LCD顯示行業(yè)的金字塔結(jié)構(gòu)

· 外形測(cè)量 

沿內(nèi)部及外部形狀

1.4 mm直徑的內(nèi)螺紋

· 尺寸測(cè)量 

確定物體的方位和尺寸

鉆床和磨床上使用的刀具刃部的三維圖像