自動(dòng)掃描薄膜測(cè)量儀器SenSol

 

SenSol是SENTECH光伏產(chǎn)品組合中的自動(dòng)大面積掃描儀器。自動(dòng)表征膜厚、薄層電阻、霧度、反射和透射的均勻性。使用SenSol，可以監(jiān)測(cè)大型玻璃基板上的沉積過(guò)程的均勻性，從而可以顯著減少儀器維護(hù)后重新開(kāi)始生產(chǎn)的時(shí)間。

 

整體表面分析

SenSol自動(dòng)掃描系統(tǒng)是為薄膜測(cè)量設(shè)計(jì)的，在面板上的每個(gè)位置，特別是在邊緣都可以進(jìn)行測(cè)量。

 

TCO自動(dòng)掃描

TCO可以研究厚度的均勻性、薄層電阻、光譜分辨的霧度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。

 
 

工藝優(yōu)化

新的沉積工藝或清洗后的沉積設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間顯著減少。

 

SenSol自動(dòng)掃描儀器設(shè)計(jì)用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質(zhì)量控制的在線測(cè)量。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺(tái)中。這也允許特定的工藝監(jiān)測(cè)，提供補(bǔ)償工藝中出現(xiàn)的差異。

 

瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜測(cè)量設(shè)備的供應(yīng)商，也是SENTECH的主要參考客戶，通過(guò)SenSol的工藝監(jiān)測(cè)確保了優(yōu)異的生產(chǎn)效果。

 

SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自動(dòng)掃描軟件為制造商主計(jì)算機(jī)提供了靈活和定制的接口，以及客戶特定的薄膜測(cè)量結(jié)果的圖形表示。