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工作臺(tái) 金屬臺(tái)面尺寸（mm） 760×640 800×550 800×800 750×1000 1140×1360 1340×1660
玻璃臺(tái)面尺寸（mm） 550×350 650×450 650×650 650×850 1050×1250 1250×1550
運(yùn)動(dòng)行程（mm） 500×300 600×400 600×600 600×800 1000×1200 1200×1500
Z軸升降行程 200mm
工作距離 92mm
X、Y、Z數(shù)顯解析度 1μm
X、Y坐標(biāo)示值誤差 ≤（3+L/200）μm
影像系統(tǒng)
攝影機(jī)： 日本原裝彩色1/2″CCD攝像機(jī)
變焦物鏡倍率： （美***：NAVITAR）0.7~4.5X 或自動(dòng)變焦鏡頭
視頻總倍率： 30X~190X
物方視場(chǎng)： 10.6~1.6mm 表面光源與透射光源均用LED，48組可編程。
測(cè)量系統(tǒng) Mclns全自動(dòng)測(cè)量軟件

 


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