GeminiSEM 系列產(chǎn)品

高對比度、低電壓成像的場發(fā)射掃描電子顯微鏡

為對任意樣品進(jìn)行高水準(zhǔn)的成像和分析而生

蔡司GeminiSEM 系列產(chǎn)品具有出色的探測效率，能夠輕松地實現(xiàn)亞納米分辨成像。無論是在高真空還是在可變壓力模式下，更高的表面細(xì)節(jié)信息靈敏度讓您在對任意樣品進(jìn)行成像和分析時都具備更佳的靈活性，為您在材料科學(xué)研究、生命科學(xué)研究、工業(yè)實驗室或是顯微成像平臺中獲取各種類型樣品在微觀世界中清晰、真實的圖像，提供靈活、可靠的場發(fā)射掃描電子顯微鏡技術(shù)和方案。

GeminiSEM 500 具有出色的分辨率，在較低的加速電壓下仍可呈現(xiàn)給您更強的信號和更豐富的細(xì)節(jié)信息，其創(chuàng)新設(shè)計的NanoVP可變壓力模式，甚至讓您在使用時擁有在高真空模式下工作的感覺；

更強的信號，更豐富的細(xì)節(jié)

GeminiSEM 500 為您呈現(xiàn)任意樣品表面更強的信號和更豐富的細(xì)節(jié)信息，尤其在低的加速電壓下，在避免樣品損傷的同時快速地獲取更高清晰度的圖像。

• 經(jīng)優(yōu)化和增強的Inlens探測器可高效地采集信號，助您快速地獲取清晰的圖像，并使樣品損傷降至更低；

• 在低電壓下?lián)碛懈叩男旁氡群透叩囊r度，二次電子圖像分辨率1 kV達(dá)0.9nm，500 V達(dá)1.0 nm，無需樣品臺減速即可進(jìn)行高質(zhì)量的低電壓成像，為您呈現(xiàn)任意樣品在納米尺度上更豐富的細(xì)節(jié)信息；

• 應(yīng)用樣品臺減速技術(shù)-（Tandem decel），可在1 kV下獲得高達(dá)0.8nm二次電子圖像分辨率；

• 創(chuàng)新設(shè)計的可變壓力模式-NanoVP技術(shù)，讓您擁有身處在高真空模式下工作的感覺。

洞察產(chǎn)品背后的科技

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)

Gemini 1類型鏡筒 -延續(xù)創(chuàng)新和發(fā)展

如今，掃描電子顯微鏡（SEM）在低電壓下的高分辨成像能力，已成為其在各項應(yīng)用領(lǐng)域中的標(biāo)準(zhǔn)配置。

低電壓下的高分辨率成像能力，在以下應(yīng)用領(lǐng)域中扮演著尤為重要的角色：

• 電子束敏感樣品

• 不導(dǎo)電樣品

• 獲取樣品極表面的真實形貌信息

Gemini的革新電子光學(xué)設(shè)計，應(yīng)用高分辨率電子槍模式、Nano-twin lens物鏡(GeminiSEM 500)、以及Tandem decel樣品臺減速技術(shù)（選配），有效提高了在低電壓時的信號采集效率和圖像襯度。

• 高分辨率電子槍模式：

• 縮小30%的出射電子束能量展寬，有效地降低像差；

• 獲得更小的束斑。

• Nano-twin lens物鏡：

             優(yōu)化靜電場和磁場的復(fù)合功效，在低電壓下具有的更高的分辨率；

             提高鏡筒內(nèi)Inlens探測器在低電壓下的信號采集效率。

• Tandem decel樣品臺減速技術(shù)，進(jìn)***步提高對適用樣品在低電壓甚至極低電壓下的分辨率：

• Tandem decel減速技術(shù)將鏡筒內(nèi)減速和樣品臺偏壓減速技術(shù)相結(jié)合，有效地實現(xiàn)低著陸電壓；

• 使用1 kV及以下更低電壓時，鏡筒內(nèi)背散射探測器的檢測效率獲得更好地增強，低電壓下的分辨率得到進(jìn)***步提高。

• 對適用的樣品可以加載高達(dá)-5 kV的樣品臺偏壓，在低電壓下獲得更高質(zhì)量的圖片

• 優(yōu)化靜電場和磁場的復(fù)合功效，在低電壓下具有的更高的分辨率；

• 提高鏡筒內(nèi)Inlens探測器在低電壓下的信號采集效率。

技術(shù)參數(shù)：