20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率（Magnification）

30x~60,000x 

加速電壓（Accelerating Voltage）

1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5 step)

圖像檢測

（Signal Detection）`

二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

觀察模式 Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統(tǒng)（Electron Gun）

燈絲類型（Filament type）

預(yù)對中鎢燈絲（Pre Centered tungsten filament Cartridge）

偏壓系統(tǒng)（Bias voltage   system）

自動偏壓方式（Automatic mode）

電子槍校正

（Electron gun alignment）

手動方式（Manual mode）

透鏡構(gòu)成（Lens system）

聚光鏡（Focus Lens）

2段式磁線圈透鏡

 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens)

物鏡（Objective Lens）

1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic   Objective Lens)

探測器類型(Detector type)

SE Detector/ BSE Detector

載物臺系統(tǒng)( Stage System)

 自動或者手動（Auto or Manual）

載物臺移動（Stage Traverse）

3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

圖像偏移（Image shift）

Image shift   X, Y Image Shift (±150um)

樣品MAX尺寸

（Max Sample size）

高度30mm時MAX直徑70mm

70mm in diameter, 30mm in height

圖像掃描

（Image Scanning system）

快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自動功能

（Automatic Function）

自動啟動(Auto start)，自動聚焦(Auto focus)，自動亮度對比度調(diào)節(jié)(Auto Brightness/Contrast)

圖像存儲格式(Image format)

BMP, JPEG, PNG,TIFF

數(shù)據(jù)顯示(Data display)

放大倍率(Magnification)，探測器類型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)，

Date   and time，Text marker，比例尺(scale bar)等

真空系統(tǒng)（Vacuum system）

 全自動型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic               Multi mode)

（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）    Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空時間(pump down time)：2分鐘以內(nèi)

 (less than 2 minutes)

操控系統(tǒng)(Control unit system)

 鼠標(biāo)和鍵盤(Mouse ,Keyboard)

PC：臺式電腦（Desk Top）         OS : Microsoft Windows 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB   2.0

軟件（Software function）

 圖像文件打開，編輯，存儲功能(Image file open, edit, Save function)

 長度，面積，角度等測量功能(Length, area, angle measuring)
  設(shè)置數(shù)值初始化(parameter initialization)，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換(Image capture   mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等

體積（   Volume）

 設(shè)備主機(jī)（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set
  外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

重量   （Weight）

 105kg

設(shè)備環(huán)境

（Equipment environment）

 溫度(Temperature)：15℃~30℃
   濕度(Humidity)：70% or less

 電源(Power source)：     Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz