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等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：美國(guó)更新時(shí)間：2021-02-26 15:32

品  牌：Nano-Master型  號(hào)：

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1110

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）

美***NANOMASTER公司PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類(lèi)金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等?？蛇x用射頻（RF）、空陰極高密度等離子體(HCD)源、感應(yīng)耦合等離子體（ICP）源。該公司采用先進(jìn)技術(shù)和穩(wěn)定可靠的設(shè)計(jì)為您提供多方位的服務(wù)。



產(chǎn)品參數(shù)

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）

1)   平板尺寸：8”

2)   源直徑：5”或8”

3)   氣體輸入管數(shù)量：4（兩個(gè)反應(yīng)氣，一個(gè)載氣，一個(gè)排空管）

4)   源距平板的距離：2”或者可調(diào)

5)   真空：低于E-7Torr，200L/sec渦輪分子泵及3.5cfm機(jī)械泵組合

6)   最大平板溫度：800℃

7)   射頻電源供應(yīng)：600W，13.5MHz

8)   射頻偏壓：300W，13.5MHz

產(chǎn)品型號(hào)：

NPE-3000 桌面型PECVD系統(tǒng)

NPE-4000 立式型PECVD系統(tǒng)


產(chǎn)品介紹

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）

應(yīng)用領(lǐng)域：

1.        等離子誘導(dǎo)表面改性

2.        等離子清洗（NF3）

3.        反應(yīng)離子蝕刻

4.        等離子體聚合

5.        PECVD沉積SiO2、Si3N4、類(lèi)金剛石、硬質(zhì)薄膜等





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