光學(xué)NanoGauge C12562-04
價(jià) 格:詢價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2020-12-15 10:43
品 牌:其他型 號:C12562-04
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2593
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產(chǎn)品介紹
光學(xué)NanoGauge C12562-04
詳細(xì)參數(shù)
型號 | C12562-04 |
可測膜厚范圍(玻璃) | 500 nm to 300 μm*1 |
測量可重復(fù)性(玻璃) | 0.02 nm*2 *3 |
測量準(zhǔn)確性(玻璃) | ±0.4 %*3 *4 |
光源 | Halogen light source |
光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
工作距離 | 10 mm*3 |
可測層數(shù) | Max. 10 layers |
分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
測量時(shí)間 | 3 ms/point*5 |
光纖連接頭 | FC |
外部控制功能 | RS-232C, Ethernet |
電源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
功耗 | Approx. 80 VA |
*1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)
*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)
*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件***致
*5 ***短曝光時(shí)間
產(chǎn)品特性
● 測量范圍從薄膜厚度到總厚度
● 縮短循環(huán)時(shí)間(***大100 Hz)
● 外部觸發(fā)器增強(qiáng)(適用于高速測量)
● 系統(tǒng)中新增簡化測量法
● 可進(jìn)行表面分析
● 非恒定膜層的精確測量
● 分析光學(xué)常數(shù)(n, k)
● 可外部控制
外形尺寸(單位:mm)


