微米膜厚測量儀 C11011-21W
價 格：詢價
產(chǎn) 地：更新時間：2020-12-15 10:38
品 牌：其他型 號：C11011-21W
狀 態(tài)：正常點擊量：1044
400-006-7520
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上海自提或三方快遞
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產(chǎn)品介紹
詳細介紹
詳細參數(shù)
| 型號 | C11011-21W |
| 可測膜厚范圍（玻璃） | 25 μm to 2900 μm*1 |
| 光源 | Infrared LD （1300 nm) |
| 光斑尺寸 | Approx. φ60 μm*4 |
| 工作距離 | 155 mm*4 |
| 可測層數(shù) | Max. 10 layers |
| 分析 | Peak detection |
| 測量時間 | 22.2 ms/point*5 |
| 外部控制功能 | RS-232C, Ethernet |
| 電源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 50 VA |
| 接口 | USB 2.0 (Main unit - Computer) |
| 可測膜厚范圍（硅） | 10 μm to 1200 μm*2 |
| 測量可重復(fù)性（硅） | 100 nm*3 |
| 測量準確度（硅） | < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3 |
* 1：玻璃折射率相同。
* 2：硅折射率相同。
* 3：測量硅時為標準偏差。
* 4：可選1000毫米工作距離的型號。 （型號C11011-01WL）
* 5：***短曝光時間。
產(chǎn)品特性
● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量
● 測量膜厚度范圍（玻璃）：25μm-2900μm
● 測量速度高達60 Hz
● 可測量層數(shù)：10層
● 測量帶圖紋晶圓或帶保護膜的晶圓
● 工作距離長
● Mapping功能
● 可外部控制
外形尺寸（單位：mm）
產(chǎn)品優(yōu)勢
C11011-21W型光學微米膜厚測量儀利用激光干涉法原理，測量速度達60Hz，適用于產(chǎn)品線上在線測量。此外，與mapping工作臺聯(lián)用可以用于測量指定樣品的厚度分布。C11011-21W應(yīng)用廣泛，比如用于產(chǎn)品制造過程監(jiān)控或質(zhì)量控制。
C11011-21W可測玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2900 μm 和10 μm 到 1200 μm，可測層數(shù)zui多為10層。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
