日立FT9400系列X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x
儀器簡(jiǎn)介：
FT9000系列里***高的機(jī)型就是FT9455。搭載著75W高性能X射線(xiàn)管和雙向分離工檢測(cè)器（半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管），符合“薄膜”、“合金膜”、“極微小部分測(cè)定”等鍍膜厚度測(cè)定要求的高性能膜厚度測(cè)量?jī)x。FT9455還在鍍膜厚度測(cè)定功能的基礎(chǔ)之上增加了異物定性和查資料成分分析的功能。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | FT9400 | FT9450 | FT9455 |
|---|
| 測(cè)量元素 | 原子序號(hào)Ti（22）～Bi（83）
原子序號(hào)21以下的元素可通過(guò)吸收法測(cè)量 |
| X射線(xiàn)源 | 空冷式小型X射線(xiàn)管
管電壓：50（可變更）kV
管電流： 10～1000 μA |
| 檢測(cè)器 | 比例計(jì)數(shù)管＋半導(dǎo)體檢測(cè)器（無(wú)需液氮） |
| 準(zhǔn)直器 | 4種類(lèi)(0.015, 0.05, 0.1, 0.2 mmφ) |
| X射線(xiàn)聚光 | 激光對(duì)焦 |
| 濾波器 | ***次濾波器： Mo－自動(dòng)切換 |
| 樣品區(qū)域 | X:240 mm, Y:170 mm
X:220 mm, Y:150 mm, Z:150 mm | X:420 mm, Y:330 mm
X:400 mm, Y:300 mm, Z:50 mm | X:700 mm, Y:600 mm
X:400 mm, Y:300 mm, Z:15 mm |
| 測(cè)量軟件 | 薄膜FP法（***大5層、10種元素）、檢量線(xiàn)法、塊體FP法（材料組成分析） |
| 安全功能 | 樣品室門(mén)聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 |
主要特點(diǎn)：
搭載雙向分離工檢測(cè)器（半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管）
搭載在X射線(xiàn)能量分辨率上，的半導(dǎo)體檢測(cè)器（起作用液化氮）和計(jì)數(shù)率的比例計(jì)數(shù)管，能夠根據(jù)運(yùn)用需要對(duì)應(yīng)使用。特點(diǎn)是半導(dǎo)體檢測(cè)器，能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點(diǎn)：
1. 能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過(guò)濾的情況下進(jìn)行測(cè)定
2.對(duì)于含Br的打印基板，可以做到不受Br干擾進(jìn)行高精度的Au鍍膜厚度測(cè)定
3.能夠測(cè)定0.01μm以下極薄的Au鍍膜
4. 薄膜FP軟件
對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域。
5. 適用測(cè)定極微小部分
15μmΦ的準(zhǔn)直管為標(biāo)準(zhǔn)裝備。能夠測(cè)定微小部分鍍膜厚度。
6. 搭載75W高性能X射線(xiàn)管
7. 容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察
搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
8. 能夠測(cè)定大型打印基板的大型平臺(tái)
9. 依據(jù)照明，能夠觀察以往難以觀察的樣品
10. 搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器
11. 利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)
12. 正確的對(duì)焦
利用激光能夠正確得對(duì)焦測(cè)試樣品。
13. 報(bào)告制作軟件
運(yùn)用微軟的軟件能夠簡(jiǎn)單得把測(cè)定的數(shù)據(jù)制作成書(shū)面材料。
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