日立 FT9300系列 X射線熒光鍍層厚度測量儀 

概要：

高速X射線管球的搭載，實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。而且配合極微小準(zhǔn)直器和光學(xué)變焦鏡頭可以實(shí)現(xiàn)極微小部分的測定。更可以對(duì)有高低平面差異的樣品進(jìn)行測定。

技術(shù)參數(shù)：

可測量元素：原子序數(shù)22(Ti)～83(Bi) 
X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗 
濾波器：***次濾波器：Mo 二次濾波器：Co (自動(dòng)切換) 
照射方式：上方垂直照射方式

檢測器：比例計(jì)數(shù)管 
準(zhǔn)直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圓形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

安全性能：樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動(dòng)診斷功能

樣品圖像對(duì)焦方式：激光自動(dòng)對(duì)焦

樣品觀察：彩色CCD攝像頭 倍率光學(xué)器 鹵素?zé)粽彰?nbsp;
樣品平臺(tái)大小及承重：FT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg
FT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg
FT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg

重量：FT9300/SFT9350:125kg (不含電腦)
FT9355:130kg(不含電腦) 
修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 
測量報(bào)告書制作：配備MS-EXCEL MS-WORD(使用宏支持自動(dòng)制作測量報(bào)告書)測量能譜與樣品圖像保存功能

特點(diǎn)：

1. 75W高功率X射線管 
　能夠提高X射線的生產(chǎn)效率，實(shí)現(xiàn)高精度的測量，有效縮短測量時(shí)間，只需過去的1/4

2. 超微小型準(zhǔn)直器 
　除了搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的50μm準(zhǔn)直器，還配備了測量微小部位用的15μm準(zhǔn)直器 
　對(duì)應(yīng)所選擇準(zhǔn)直器的實(shí)際X射線光束照射的尺寸，可以顯示在樣品畫面上

3. 倍率式光學(xué)系 
可以準(zhǔn)確地對(duì)微小部分進(jìn)行對(duì)焦，還可以對(duì)應(yīng)各測量點(diǎn)間有高低的樣品

4. 實(shí)現(xiàn)了高精度自動(dòng)X-Y-Z樣品臺(tái)與圖像處理軟件的高速自動(dòng)測量

5. 擁有防沖功能

6. 搭載高精度樣品平臺(tái)，更可測量大型線路板(FT9355)

7. 自動(dòng)對(duì)焦功能 
配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測量效率。

8. 即時(shí)生成測量報(bào)告的便捷性 
運(yùn)用搭載的Microsoft Word Excel 可以簡單輕松得到制作報(bào)告。

9. 搭載了高功率X射線管

10. 擁有自動(dòng)測量軟件以及中心搜索軟件

11. 搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件，可實(shí)現(xiàn)高精度幾高效率的微小樣品檢測***小樣品尺寸直徑3.5um

2.容易決定微小測量部位

3.影像對(duì)焦系統(tǒng)

4.凹凸樣品的凹下部位的測量

5.再現(xiàn)性佳