無(wú)論是科研還是工業(yè)生產(chǎn)，M-2000都可以滿足您的需求，多樣的配置選項(xiàng)滿足不同用戶的要求。旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償專利技術(shù)保證Delta的準(zhǔn)確測(cè)量，CCD列陣的使用使全光譜掃描可在幾秒中內(nèi)完成。

可選光譜范圍：

V型 370－1000nm
U型 245－1000nm
D型 193－1000nm
紅外擴(kuò)展 1000－1700nm

可選變角：

手動(dòng)連續(xù)可變

自動(dòng)連續(xù)可變

特殊微光斑選件：

25×60微米

M-2000 光譜型橢偏儀
無(wú)論是科研還是工業(yè)生產(chǎn)，M-2000都可以滿足您的需求，多樣的配置選項(xiàng)滿足不同用戶的要求。旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償專利技術(shù)保證Delta的準(zhǔn)確測(cè)量，CCD列陣的使用使全光譜掃描可在幾秒中內(nèi)完成。
Alpha-SE 光譜型橢偏儀
α-SE是一款高性價(jià)比的光譜型橢偏儀。簡(jiǎn)約設(shè)計(jì)，理想的薄膜分析工具。計(jì)算機(jī)通過(guò)USB口控制儀器、數(shù)據(jù)采集。配置易用的數(shù)據(jù)分析軟件 易于使用 帶有高級(jí)選項(xiàng)的按鈕式操作 軟件技術(shù)先進(jìn) 基于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償專利技術(shù) 高速測(cè)量 十秒內(nèi)完成180個(gè)波長(zhǎng)的測(cè)量及數(shù)據(jù)的擬合 功能強(qiáng) 提供厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙、界面層等 各種數(shù)據(jù) 應(yīng)用范圍 適用于各類可見(jiàn)光譜段薄膜的研究及日常工藝控制
V-VASE 光譜型橢偏儀
V-VASE是一款經(jīng)典的自動(dòng)可變角，單色儀分光的光譜橢偏儀?？蓱?yīng)用于半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、金屬、等各類薄膜的研究和分析。自動(dòng)相位延遲技術(shù)保證了測(cè)量準(zhǔn)確性，精湛的工藝保證了測(cè)試重復(fù)性。具有靈活多變測(cè)試功能的V-VASE可用于各類研究中。
IR-VASE 光譜型橢偏儀
IR-VASE可應(yīng)用于紅外材料光學(xué)特性的測(cè)量及分析，IR-VASE在半導(dǎo)體上可應(yīng)用于摻雜濃度的測(cè)量。超寬光譜適合各種紅外材料，旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償技術(shù)保證測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。IR-VASE是紅外橢偏儀中的頂尖產(chǎn)品。
VUV-VASE 光譜型橢偏儀
UVV-VASE是一款真空紫外橢偏儀，通常用來(lái)測(cè)量及研究薄膜的紫外光學(xué)特性，如光刻膠等。
T-solar 光譜型橢偏儀
T-Solar是為光伏行業(yè)量身定制的一款光譜橢偏儀，無(wú)論是硅電池（絨面）還是薄膜電池，都可以用T-Solar來(lái)測(cè)量。T-Solar基于M-2000，是M-2000的一個(gè)特殊配置版。