1 、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。
2 、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為 2nm ---500μm。 
3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4 、納米***分辨率：垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需幾秒鐘。
6 、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8 、測(cè)量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶(hù)界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算

干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無(wú)法比擬的。

干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。