光譜共焦測(cè)量原理
混色光是由眾多不同波長(zhǎng)光線組成的,我們稱之為光譜。所有不同波長(zhǎng)的可見光重疊在***起,形成白光。人類肉眼可見光的波長(zhǎng)范圍從400nm (藍(lán)光)到700nm (紅光)。通過透鏡,不同顏色的光不會(huì)聚焦到同***個(gè)點(diǎn)上。這種現(xiàn)象稱為色差透鏡錯(cuò)誤或者叫色差透鏡偏差。
眾所周知,自然界的日光屬白光***種,白光不是***純潔的光,而是許多單色光組成的。光在不同介質(zhì)中傳播可能會(huì)有角度偏差的現(xiàn)象產(chǎn)生,而實(shí)際的白光照射下不同介質(zhì)將有很多單線光的折射。光學(xué)材料(透鏡)對(duì)于不同單色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波長(zhǎng)愈短折射率愈大,波長(zhǎng)愈長(zhǎng)折射率愈?。ㄟ@也是不同望遠(yuǎn)鏡所謂的色差不同的原因),同***薄透鏡對(duì)不同單色光,每***種單色光都有不同的焦距,按色光的波長(zhǎng)由短到長(zhǎng),它們的像點(diǎn)離開透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上(不同的單色光的波長(zhǎng)是不同的)這樣成像就產(chǎn)生了所謂色差透鏡錯(cuò)誤。色差透鏡錯(cuò)誤使成像產(chǎn)生色斑或暈環(huán)。在攝影器材中,應(yīng)通過特殊處理,盡量消減色差透鏡錯(cuò)誤導(dǎo)致的成像問題。常用的消除方法有雙膠合系統(tǒng)與雙分離系統(tǒng)。
而光譜共焦測(cè)量方法恰恰利用這種物理現(xiàn)象的特點(diǎn)。通過使用特殊透鏡,延長(zhǎng)不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測(cè)物體到透鏡的距離,會(huì)對(duì)應(yīng)***個(gè)精確波長(zhǎng)的光聚焦到被測(cè)物體上。通過測(cè)量反射光的波長(zhǎng),就可以得到被測(cè)物體到透鏡的精確距離。這***過程與攝影器材通過各種方法消減色差的過程正好相反。
為了得到上述特殊的色差,需要在傳感器探頭內(nèi)使用若干特殊透鏡,用來根據(jù)所需量程將光線分解。***后使用***個(gè)凸透鏡,將傳感器探頭射出的光線聚攏在***條軸線上,形成所謂的焦點(diǎn)軸線。如果不使用凸透鏡,傳感器探頭射出的光將分散開來,測(cè)量也就無法進(jìn)行了。
光譜共焦位移傳感器與激光位移傳感器的對(duì)比:
| 激光三角反射法位移傳感器 | 光譜共焦位移傳感器(色散位移傳感器) |
遮擋陰影的影響 | 高度變化映射到傳感器像位移,根據(jù)三角函數(shù)計(jì)算出高度距離。圖中陰影部分是測(cè)量盲區(qū)。 | 光線是從四面八方照射過來的,即使大部分的光線被阻擋,只要有***小部分返回,照樣可以測(cè)量,甚至能測(cè)量其它方法無法測(cè)量的小孔和槽底部。***個(gè)光譜共焦傳感器可以起4個(gè)從不同方向照射的激光位移傳感器的作用。 |
透明體和鏡面被測(cè)物的影響 |
激光光斑可能在透明被測(cè)物表面發(fā)生透射,在被測(cè)物內(nèi)部產(chǎn)生光暈,從而導(dǎo)致激光位移傳感器測(cè)量偏差。
另***方面,激光位移傳感器需要光斑在被測(cè)物表面形成漫反射,在***個(gè)傾斜角度上收集回光。而對(duì)于鏡面反射被測(cè)物,能夠進(jìn)入側(cè)面收光器的光線很少,可能導(dǎo)致測(cè)量困難,需要傾斜安裝或使用鏡面檢測(cè)專用激光位移傳感器。 |
半透明材質(zhì)光斑周圍的漫反射光被小孔阻擋無法返回到光譜分析儀,不會(huì)影響測(cè)量。
這種方法和全息原理相似,理論上每***束經(jīng)過小孔返回的光都攜帶了距離信息,透明表面或鏡面也會(huì)反射***部分光回去,所以透明材質(zhì)也可以測(cè)量。
采用同軸檢測(cè),發(fā)射光和返回光在同***軸線上,避免因全反射導(dǎo)致的回光不足問題。光譜共焦傳感器可以用于檢測(cè)鏡面被測(cè)物。 |
鏡面物體大角度測(cè)量的影響 | 當(dāng)鏡面被測(cè)物邊沿有很大傾斜角度時(shí)(如手機(jī)3D玻璃邊沿),激光三角反射法位移傳感器的回光可能發(fā)生很大角度的反射,導(dǎo)致側(cè)向收光器回光很少,無法測(cè)量。 | 在比較大的彎曲或傾斜角度內(nèi),只要有***小部分光返回,就可以完成測(cè)量任務(wù)。不需要傾斜安裝或使用鏡面反射特殊型號(hào)位移傳感器,減少了傳感器品種數(shù)和安裝難度,大大提高使用效率。 |
光斑大小的影響 | 激光三角反射式位移傳感器只有在聚焦點(diǎn)光斑***小,離開聚焦點(diǎn)后光斑都會(huì)變大。對(duì)于測(cè)量微小結(jié)構(gòu)的測(cè)量任務(wù),可能會(huì)帶來測(cè)量困難。 | 在量程范圍內(nèi),測(cè)量有效波長(zhǎng)的光永遠(yuǎn)都在焦點(diǎn)上,可以全量程保持分辨率和精度。因此光譜共焦位移傳感器特別適合測(cè)量微小幾何結(jié)構(gòu)和輪廓變化。 |
新技術(shù),新可能
使用光譜共焦測(cè)量技術(shù),可以得到超高分辨率。納米***分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑,從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著,即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕,也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),德***米銥公司推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
由于測(cè)量只使用白光,無需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許***長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會(huì)影響測(cè)量精度,甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法,探頭到被測(cè)物體的距離也有***定限制。新技術(shù),新可能
使用光譜共焦測(cè)量技術(shù),可以得到超高分辨率。納米***分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑,從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著,即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕,也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),德***米銥公司推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
由于測(cè)量只使用白光,無需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許***長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會(huì)影響測(cè)量精度,甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法,探頭到被測(cè)物體的距離也有***定限制。
共焦位移傳感器confocalDT, 色散傳感器,白光色散傳感器