分辨率

主模式

襯度模式

晶格（可保證）：

0.34 nm

-

晶格（可分辨）：

0.20 nm

-

點分辨率：

0.4 nm

0.5 nm

加速電壓

25 - 100 kV可調，步長為0.05、1到5 kV

全數(shù)字控制，最佳的安全性和重復性

照明系統(tǒng)

兩個迷你會聚透鏡（采用水冷式特殊設計，尺寸小巧），在亮場和暗場照明之間切換，具有亮度連續(xù)可調的設置保存功能，

物鏡

對稱式迷你透鏡，兩種工作模式：主模式和襯度模式

聚焦

聚焦：數(shù)字控制，放大倍數(shù)取決于調焦步長，細、中、粗三檔可選

焦距： 主模式  - 2.8 mm，

襯度模式         - 3.8 mm。

物鏡區(qū)域有防污染裝置

樣品臺

手動樣品臺，X/Y = 2 mm；

樣品移動的粗調和細調控制；樣品位置的數(shù)字顯示，采用備忘（memo）功能，

放大倍數(shù)

主模式：

低放大倍數(shù)：

50x - 1,000x.

高放大倍數(shù)：

1,500x - 600,000x.

襯度模式：

低放大倍數(shù)：

50x - 1,000x.

高放大倍數(shù)：

1,100x - 430,000x.

相機長度

200 - 2000 mm（主模式）

260 -2600 mm（襯度模式）

投影系統(tǒng)

四個迷你投影透鏡；在較大的放大倍數(shù)范圍內(nèi)可以實現(xiàn)無旋轉成像；影像移動微調功能

真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)采用擴散泵，帶吸附阱（集成于泵的主回路）。
鏡筒真空度（液氮）：< 2x10-6 mbar

儀器控制

基于Windows? XP的圖形用戶界面，硬件操作板可實現(xiàn)多數(shù)常用功能，硬盤存儲，包括全部數(shù)據(jù)記錄及個性化用戶參數(shù)

圖像記錄

頁式膠片和SSCCD照相機