ULTRA——***佳的成像工具
? 看得更多——超高分辨率的SE與BSE同步成像
? 看得更清——精確的***佳成像能力
? 看得更細(xì)——納米尺度上進(jìn)行組分分析的利器
? 簡便易用——全面集成的鏡筒內(nèi)置式背散射電子探測器（EsB）和二次電子探測器（In-lens detector）
? 遠(yuǎn)離荷電——Ultra plus中安裝有荷電補(bǔ)償器，實(shí)現(xiàn)了不導(dǎo)電樣品的清晰、精確成像
 

在SUPRA?場發(fā)射掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)上發(fā)展起來的ULTRA 場發(fā)射掃描電子顯微鏡是用于納米結(jié)構(gòu)分析的電子束成像儀器中的佼佼者，它接收效率高、可以超高分辨率成像。***新開發(fā)的能量選擇式背散射電子探測器（EsB）和角度選擇式背散射電子探測器（AsB）則代表了***的GEMINI?技術(shù)的***新發(fā)展。
ULTRA綜合采用了用于形貌成像的GEMINI? In-len二次電子探測器、用于清晰的組分襯度的EsB探測器和用于采集晶體通道信息的AsB探測器。同步的實(shí)時成像與信號混合功能提供了***佳的成像能力。
EsB探測器包含有***個過濾柵網(wǎng)，通過它可實(shí)現(xiàn)高分辨率背散射電子成像，讓以前無法看見的細(xì)節(jié)歷歷在目。
卡爾.蔡司獨(dú)特的荷電補(bǔ)償功能在使用所有探測器時，都可以分析非導(dǎo)電樣品

? 低加速電壓時的超高分辨率二次電子和背散射電子成像
? 用于在納米尺度上實(shí)現(xiàn)組分襯度成像的高效EsB / AsB探測器
? 精確控制的超大自動優(yōu)中心（eucentric）樣品臺
? 背散射電子和二次電子信號的實(shí)時成像與混合功能
? 抑制不導(dǎo)電樣品的荷電效應(yīng)
? 用于X射線分析和背散射電子衍射（EBSD）應(yīng)用的超穩(wěn)定束流模式