主要特點(diǎn) 德***Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀的突出特點(diǎn)：

納米操縱精確度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向***小移動距離為5nm，在Z方向***小移動距離為0.5nm。
快慢可調(diào)的操作速度：可以選擇***個(gè)步進(jìn)0.5nm，也可以選擇***大移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細(xì)操作完美地結(jié)合在***起。
緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內(nèi)安裝1~8個(gè)系統(tǒng)。
三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉(zhuǎn)，Z軸方向做12mm的伸長，MM3A可操作的空間范圍***大達(dá)100cm3。
幾乎無漂移：我們曾經(jīng)做過實(shí)驗(yàn)MM3A鎢探針針尖在場發(fā)射電鏡放大100K條件下每隔***分鐘拍***張照片，持續(xù)***小時(shí)后通過對照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩(wěn)定因素外，MM3A幾乎不產(chǎn)生漂移。
與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺上，該平臺再固定在電鏡的樣品臺上，整個(gè)安放過程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時(shí)將平臺卸下取出既可?？刂凭€通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會影響電鏡的真空。

儀器介紹 德***Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅(qū)動單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá)，因此它***大的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米***精確移動，在保證納米***移動的同時(shí)其專利的設(shè)計(jì)可以同時(shí)做到毫米***的移動范圍，整個(gè)操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。

德***Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀有以下型號以適用于不同的環(huán)境：

德***Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀MM3A-EM以其高精度、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng)，直接在樣品室內(nèi)操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應(yīng)用，使得對樣品的研究更深***步。MM3A的移動范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動，Z軸可作12mm的伸長，整個(gè)空間的移動范圍達(dá)到100立方厘米。系統(tǒng)驅(qū)動全部由壓電陶瓷來實(shí)現(xiàn)，由此保證了Z軸每個(gè)步進(jìn)的精度可達(dá)0.5nm，當(dāng)采用快速移動模式時(shí)，速度可達(dá)到2mm/s，可以說是同時(shí)兼具了高精度和高效率，專利的大行程設(shè)計(jì)，使得Z軸總行程可達(dá)到12mm，納米***的移動精度、厘米***的移動范圍是MM3A的***大特點(diǎn)。

MM3A-LS以其高穩(wěn)定性、高精度、無漂移的鮮明特性，被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)領(lǐng)域的高靈敏度膜電位測量領(lǐng)域。衍生產(chǎn)品MM3A-LMP與光學(xué)顯微鏡的結(jié)合，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體的探針系統(tǒng)中，可適應(yīng)45nm、65nm、90nm工藝的要求。
顯微操縱儀的極細(xì)微的漂移都會影響到細(xì)胞膜電位的測量，這就要求顯微操縱儀盡量能做到零漂移，德***Kleindiek Nanotechnik公司生產(chǎn)的MM3A很好地解決了漂移的問題，既使是長時(shí)間的測量也沒有漂移的現(xiàn)象。MM3A體積相對傳統(tǒng)的顯微操縱儀而言小了很多，長度約60mm重約45g，這種設(shè)計(jì)保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性并降低了系統(tǒng)噪音水平，震動幾乎對MM3A不產(chǎn)生影響。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安裝在載物臺的任何地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器，玻璃管的更換簡單易操作。