技術(shù)指標(biāo)
1.放大倍數(shù)范圍大(20X~ 20000X Digital Zoom:2x,4x,數(shù)字變焦120,000X)
2.分辯率:15nm
3.加速電壓: 1kv – 20kv
4.探測器: SEI(二次電子探測器),BEI(背散射電子探測器)/EDS(能譜儀)
5.圖像大?。?nbsp;4096×4096
6.圖像格式: JPG,TIFF,BMP,PNG
7.?dāng)?shù)據(jù)顯示: Micron Bar, Magnificaiton, Date, Kv
8.電壓: 110v或220v
9.自動操作,自動加高壓、調(diào)燈絲電流等
10.具有自動圖像調(diào)整功能(自動亮度/對比度,自動聚焦,自動消像散等)
11.移動范圍寬(X:20mm, Y:20mm, R:360, 高度可調(diào))
12.腔室盡寸大(最大樣品直徑為75 mm,樣品高度為15 mm,但通過定制樣品座可觀察更大樣品高度)
13.圖像儲存像素大(640×480, 1280×960, 2560×1920)
14.全自動抽真空(渦輪分子泵+機械泵),無需冷卻循環(huán)水
15.預(yù)對中燈絲
16.可選性強,可選配能譜儀EDS/波譜儀WDS
17.具有二次電子探測器(與通常大電鏡使用的探測器同,圖像質(zhì)量好),背散射電子探測器可選
18.NanoAnalysis軟件可選模塊,功能強大:
u 圖像獲取模塊
圖像處理
圖像分析
圖像操作
圖像過濾
粒子計數(shù)&篩分
熱成像
圖像測量/標(biāo)注
易于生成報告
自動保存
u 元素分布圖
標(biāo)準元素分布圖
超快繪圖
線掃描
點模式&多點
自動分析(每個像素的圖譜)
ColorSEM-快速成像
重點成像
熱成像
容易生成報告
自動保存
u 高級特征
化學(xué)鑒定
痕量靈敏度分析
關(guān)鍵測量
3D成像
3D測量
自動分析(每個像素的譜圖)
遠程會議
立體成像
同步分析
VideoSEM-視頻制作