電鏡能譜***體化設(shè)計(jì),簡(jiǎn)潔小巧
Phenom ProX 的能譜儀EDS是針對(duì)臺(tái)式電鏡設(shè)計(jì)的,本著臺(tái)式電鏡簡(jiǎn)單易用,售后無(wú)憂的宗旨,Phenom ProX的能譜儀EDS 系統(tǒng)完全嵌入在電鏡主機(jī)中,利用半導(dǎo)體制冷,無(wú)需額外冷卻系統(tǒng)。下圖是傳統(tǒng)電鏡能譜儀系統(tǒng)與Phenom ProX的對(duì)比圖
電鏡分辨率顯著提高
瞬間得到樣品表面形貌和元素含量
第***步:利用成像模式得到高分辨率的照片,
背散射電子給出豐富的成份像,雜質(zhì)***目了然
第二步:如果需要分析元素含量,瞬間切換到成份分析模式,點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域,立刻給出定量定性分析元素名稱(chēng)和含量分布
5kV,10kV,15kV 三檔加速電壓
Phenom ProX提供三檔加速電壓,用戶可根據(jù)樣品類(lèi)型和測(cè)試目的,靈活切換
5kV :血液 絕緣體直接觀測(cè)模式
適合對(duì)電子束敏感的樣品
10kV:電路板 ***佳分辨率模式
適合絕大部分樣品
15kV:電路板 元素分析模式
X射線特征譜線更明顯
表面形貌和成分信息同時(shí)展現(xiàn)
背散射電子的產(chǎn)率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關(guān)。Phenom(飛納)采用4分割半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器,為您提供兩種成像模式,模式之間可迅速切換:
? 成份模式:同時(shí)給出樣品表面形貌與成份信息,不同元素可由其灰度對(duì)比度的不同加以分辨
? 形貌模式:去除成份信息,樣品表面凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加明晰,適用于表面粗糙度和缺陷分析成份模式
4分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相疊加
形貌模式
4分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相抵消
成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息
形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征
專(zhuān)利樣品杯,30秒快速成像
Phenom(飛納)專(zhuān)利樣品杯、低真空設(shè)計(jì)、專(zhuān)利的真空封鎖技術(shù),裝入樣品后30秒內(nèi)即可得到高質(zhì)量圖像,耗時(shí)僅為傳統(tǒng)電鏡的1/10左右。
直接觀看絕緣體,無(wú)需噴金
Phenom(飛納)采用低真空技術(shù),出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子,正離子與樣品表面累積的電子中和,有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生,直接觀測(cè)各種不導(dǎo)電樣品(如下圖所示)。
利用降低荷電效應(yīng)樣品杯,更可將開(kāi)始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右,而且不會(huì)影響燈絲壽命,下圖頭發(fā)示例:
操作簡(jiǎn)便,全程導(dǎo)航
? 自動(dòng)/手動(dòng)聚焦
Phenom(飛納)操作界面。通過(guò)點(diǎn)擊右側(cè)圖標(biāo)可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等操作。界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍SEM導(dǎo)航窗口,方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進(jìn)行切換。
? 自動(dòng)/手動(dòng)亮度
? 自動(dòng)/手動(dòng)對(duì)比度
? 自動(dòng)燈絲居中調(diào)節(jié)
? 自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)
? 光學(xué)/電子樣品導(dǎo)航
光學(xué)導(dǎo)航,所有待觀測(cè)樣品盡在視野之中,高倍下準(zhǔn)確切換樣品,只需點(diǎn)擊感興趣樣品,即可自動(dòng)移動(dòng)到屏幕中央
低倍SEM照片導(dǎo)航,導(dǎo)航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測(cè)窗口的觀測(cè)區(qū)域,點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域,自動(dòng)移動(dòng)到樣品中央。
長(zhǎng)壽命/高亮度/低色差 CeB6 燈絲
Phenom(飛納)采用逸出功為2.5eV的CeB6燈絲,其亮度為鎢燈絲的10倍,出射電子色差小,為您提供更高質(zhì)量的圖像,其使用壽命長(zhǎng)達(dá)1500小時(shí),為鎢燈絲的10倍,可正常使用1-3年無(wú)需更換燈絲,免去了您頻繁更換燈絲的麻煩,保證工作進(jìn)度。
環(huán)境適應(yīng)性高,完全防震
Phenom(飛納)可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中,無(wú)需超凈間。采用燈絲、探測(cè)器、樣品臺(tái)相對(duì)***體化的設(shè)計(jì),震動(dòng)不會(huì)引起三者間的相對(duì)運(yùn)動(dòng),使Phenom成像不受震動(dòng)影響,可放置在較高樓層。
互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程檢測(cè)
Phenom(飛納)擁有遠(yuǎn)程檢測(cè)功能,通過(guò)網(wǎng)絡(luò),專(zhuān)業(yè)工程師可隨時(shí)為您遠(yuǎn)程檢測(cè)系統(tǒng)、答疑解難,為您提供全方位的保護(hù),讓您的Phenom隨時(shí)處于***佳工作狀態(tài)。
豐富的拓展功能選件
適用于不同領(lǐng)域的樣品杯選件